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J-GLOBAL ID：200903007810510323

研磨キズの防止方法

Inventor： 小村 浩史 ,  澤野 勉
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994311602
Publication number (International publication number)：1996168954
Application date： Dec. 15, 1994
Publication date： Jul. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 研磨剤に原因する研磨キズの発生を防止する方法を提供する。【構成】 従来、研磨剤の良否判断は平均粒径の大小をもって評価されていた。本発明では研磨剤の粒度分布に注目し、ほぼ等しい平均粒径の研磨剤について、一定以上の大きさの粒子が含まれている割合の大きいものを避けることによって、研磨キズの発生を未然に防止出来ることがわかった。

Claim (excerpt)：

平均粒径のほぼ等しい研磨剤において、該研磨剤の粒度分布における大粒子の混合割合の小さい研磨剤を選択することを特徴とする研磨キズの防止方法。