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J-GLOBAL ID：200903007822382312
除振台の制御方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991132096
Publication number (International publication number)：1994147256
Application date： May. 07, 1991
Publication date： May. 27, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明の目的は、4個以上の能動アクチュエータを3個以上の振動検出用のセンサにて互いに干渉する事なく合理的に制御し、素早い能動制振を達成する事にある。【構成】 除振台本体(2)の振動制御のために装着された4個以上の能動アクチュエータ(A)〜(D)と、能動アクチュエータ(A)〜(D)を制御するために配設された3個以上の振動検出用のセンサ(Sa)(Sb)(Sc)と、前記センサ(Sa)(Sb)(Sc)からの信号を取り込んで演算し、除振台本体(2)に外部から入力する振動を抑制するように前記能動アクチュエータ(A)〜(D)を制御する制御回路(cont)とで構成された除振台において、前記センサ(Sa)(Sb)(Sc)からの信号を取り込んで前記能動アクチュエータ(A)〜(D)の除振台本体支持点各々の、振動によって移動すべき座標位置(A')〜(D')を演算推論し、この演算値に基づいて能動アクチュエータ(A)〜(D)の除振台本体支持点の各々が、除振台本体(2)が安定する原点位置に復帰するように各々の能動アクチュエータ(A)〜(D)の制振量を制御する事を特徴とする。
Claim (excerpt)：
除振台本体の振動制御のために装着された4個以上の能動アクチュエータと、能動アクチュエータを制御するために配設された3個以上の振動検出用のセンサと、前記センサからの信号を取り込んで演算し、除振台本体に外部から入力する振動を抑制するように前記能動アクチュエータを制御する制御回路とで構成された除振台において、前記センサからの信号を取り込んで前記能動アクチュエータの除振台本体支持点各々の、振動によって移動すべき座標位置を演算推論し、この演算値に基づいて能動アクチュエータの除振台本体支持点の各々が、除振台本体が安定する原点位置に復帰するように各々の能動アクチュエータの制振量を制御する事を特徴とする除振台の制御方法。
IPC (3)：
F16F 15/02
, F16F 15/04
, G05D 19/02
