物理量検出装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大庭咲夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000028424
Publication number (International publication number)：2001221637
Application date： Feb. 04, 2000
Publication date： Aug. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】角速度検出装置の故障診断を精度よく行うこと。【解決手段】この角速度検出装置は、センサパッケージ11と支持部12とを備えている。センサパッケージは、被検出体に固定された基体10とともに運動する基板上でX軸及びY軸方向に振動可能に支持された振動子と、同振動子を基板に対しX軸方向に振動する駆動手段と、同振動子の基板に対するY軸方向の振動を検出するための検出手段とを含んでいる。支持部12は、前記基体に立設された駆動部支持体13-a,13-bと、この駆動部支持体に支持されるとともに前記センサパッケージを支持する診断用駆動部とを備えている。そして、角速度検出機能の故障診断時においては、駆動部支持体の圧電素子12-4a,12-4bに駆動信号を与えることにより、センサパッケージを回転振動させ、その際の前記検出手段の検出結果に基づいて故障診断を行う。

Claim (excerpt)：

被検出体に支持された基板と、前記基板上にて互いに直交するX軸方向及びY軸方向に振動可能となるように同基板に支持された振動子と、前記振動子を前記基板に対してX軸方向に振動させるための駆動手段と、前記振動子の前記基板に対するY軸方向の振動を検出するための検出手段とを備え、前記振動子をX軸方向に振動させた状態でX軸及びY軸に直交したZ軸回りに作用する角速度を同振動子のY軸方向の振動に基づいて検出する物理量検出装置において、前記被検出体の運動とは独立して前記振動子に前記Z軸回りの回転力を付与する診断用回転力付与手段と、前記診断用回転力付与手段により前記Z軸回りの回転力が前記振動子に作用している際の前記振動子の振動状態に基づいて前記角速度の検出機能の故障診断を行う診断手段とを備えたことを特徴とする物理量検出装置。

IPC (6)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/14 , G01P 21/02 , H01L 41/08 , H01L 41/09

FI (6)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/14 , G01P 21/02 , H01L 41/08 Z , H01L 41/08 U

F-Term (9)：

2F105AA01 , 2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD06 , 2F105CD11 , 2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ジャイロ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-143332 Applicant：株式会社村田製作所
特開平2-266213
振れ補正カメラの検査装置、振れ補正カメラ、及び振れ補正カメラの検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-048482 Applicant：株式会社ニコン

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