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J-GLOBAL ID：200903007857665937
走査型露光装置及びそれを用いた半導体デバイスの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996281816
Publication number (International publication number)：1998106942
Application date： Oct. 02, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】 レチクル面上を均一な照度分布でかつ適切なる光束重心の光束で照明して高集積度のデバイスを容易に製作することができる走査型露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】 光源からの光束を被照射面の照明領域を制限するマスキングブレードを有する照明系を介して、第1物体面上のパターンを照明し、該第1物体面上のパターンを投影光学系により第2物体面上に走査手段により走査させながら投影露光する際、該マスキングブレードは該第1物体の共役位置からずれた位置に配置されており、該マスキングブレードの開口部又はそれと共役な面近傍に設けた照度測定系により該マスキングブレードの開口部の照度分布を測定し、該照度測定系からの照度信号に基づいて光軸調整系により該照明系を構成する光学要素の一部を駆動して、該開口部の照度分布を調整していること。
Claim (excerpt)：
光源からの光束を被照射面の照明領域を制限するマスキングブレードを有する照明系を介して、該被照射面に配置した第1物体面上のパターンを照明し、該第1物体面上のパターンを投影光学系により第2物体面上に走査手段により該第1物体と第2物体を該投影光学系の撮影倍率に対応させた速度比で同期させて走査させながら投影露光する走査型露光装置において、該マスキングブレードは該第1物体の共役位置からずれた位置に配置されており、該マスキングブレードの開口部又はそれと共役な面近傍に設けた照度測定系により該マスキングブレードの開口部の照度分布を測定し、該照度測定系からの照度信号に基づいて光軸調整系により該照明系を構成する光学要素の一部を駆動して、該開口部の照度分布を調整していることを特徴とする走査型露光装置。
FI (2)：
H01L 21/30 518
, H01L 21/30 516 B
