弾性表面波素子とその製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992014742
Publication number (International publication number)：1993206776
Application date： Jan. 30, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】電極膜の耐電力性が高く、しかも内部損失が少ない、特性良好で長寿命な弾性表面波素子とその製造方法を提供することにある。【構成】弾性表面波素子の電極膜の膜厚方向の平均組成が、MはTi,Pd,Cu,Nb,Ni,Mg,Ge,Si,Co,Zn,Li,Ta,Au,Ag,Pt,Cr,Hf,Zr,Cd,W,Vの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、かつ、0≦y≦20,x+y=100なる条件を満たすxとyとは重量百分率組成を表すものとしたとき、AlxMyで表されるようにし、かつ、上記電極膜を圧電性基板上に成膜させたのち、該基板、電極膜に適した焼鈍処理を施して強度の高いAl合金電極膜の比抵抗を低下させ内部損失を軽減させる。

Claim (excerpt)：

圧電性基板上に金属薄膜よりなる電極を形成させた弾性表面波素子において、MはTi,Pd,Cu,Nb,Ni,Mg,Ge,Si,Co,Zn,Li,Ta,Au,Ag,Pt,Cr,Hf,Zr,Cd,W,Vの中から選ばれた少なくとも一つの金属を表し、かつ、0≦y≦20,x+y=100なる条件を満たすxとyとは重量百分率組成を表すものとしたとき、前記電極をなす金属薄膜の膜厚方向の平均組成がAlxMyで表されることを特徴とする弾性表面波素子。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

特開平3-014305
特開平2-274008
特開平1-303910

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