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J-GLOBAL ID：200903007907480658
炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置および製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石川 泰男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997061338
Publication number (International publication number)：1998258825
Application date： Mar. 14, 1997
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：
【要約】【課題】 硬質炭素膜のコーティング状態が同一のコーティングプラスチック容器を量産することが出来る炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置を提供する。【解決手段】 外部電極内に形成された真空室に容器を収容し、この外部電極の真空室に収容された容器内に内部電極を挿入し、真空室を真空にするとともに容器内に炭素源の原料ガスを供給した後、外部電極に高周波電源から電力を投入して外部電極と内部電極間にプラズマを発生させることにより、容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置において、高周波電源Rfに複数の外部電極CR,CCおよびCLが接続され、この外部電極CR,CC,CLが互いに導線13Rおよび13Lによって接続されている。
Claim (excerpt)：
外部電極内に形成された真空室に容器を収容し、この外部電極の真空室に収容された容器内に内部電極を挿入し、真空室を真空にして容器内に炭素源の原料ガスを供給するとともに、外部電極に高周波電源から電力を投入して外部電極と内部電極間にプラズマを発生させることにより、容器の内壁面に硬質炭素膜を形成する炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置において、前記高周波電源に複数の外部電極が接続されているとともに、この複数の外部電極が互いに導線によって接続されていることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造装置。
IPC (3)：
B65D 1/09
, B05D 3/04
, B29D 22/00
B65D 1/00 C
, B05D 3/04 C
, B29D 22/00
Cited by examiner (6)
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