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J-GLOBAL ID：200903007968048198
耐熱性感光性重合体組成物およびレリーフパターンの製造法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995214577
Publication number (International publication number)：1997062004
Application date： Aug. 23, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】パターンの形成に必要な露光量が少ない耐熱性感光性重合体組成物およびこの組成物を用いたレリーフパターンの製造法を提供する。【解決手段】 (a)一般式(I)【化1】で表わされるポリマー、(b)化学線により2量化または重合可能な、1つまたは複数の不飽和結合および1つのアミノ基またはその四級化塩を含む化合物、(c)芳香族ビスアジド化合物、(d)3,3′,4,4′-テトラ(t-ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノンおよび(e)一般式(II)【化2】で表わされる3-置換クマリン化合物を含有してなる耐熱性感光性重合体組成物ならびにこの組成物を用いたレリーフパターンの製造法。
Claim (excerpt)：
(a)一般式(I)【化1】(式中、R1は炭素数2以上の4価の有機基を意味し、R2は炭素数2以上の2価の有機基を意味し、かつ各カルボキシル基はアミド結合が結合している各炭素原子に対してオルト位に結合している)で表わされる構造単位を有するポリマー、(b)化学線により2量化または重合可能な、1つまたは複数の不飽和結合および1つのアミノ基またはその四級化塩を含む化合物、(c)芳香族ビスアジド化合物、(d)3,3′,4,4′-テトラ(t-ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノンおよび(e)一般式(II)【化2】(式中、R3、R4、R5、R6およびR7は水素原子、1個の炭素数1〜5のアルキル基で置換されたアミノ基、2個の炭素数1〜5のアルキル基で置換されたアミノ基、炭素数1〜5のアルキル基、アルコキシ基、アシルオキシ基、アリール基、ハロゲン原子、または炭素数1〜5のチオアルキル基であり、R8はフェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、チェニル基、ベンゾフリル基、フリル基、ピリジン基、クマリニル基、アミノ基、炭素数1〜5のアルキル基で置換されたアミノ基、シアノ基、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子、ハロアルキル基、ホルミル基、炭素数1〜5のアルコキシカルボニル基または炭素数1から5のアルシオキシ基であり、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、チェニル基、ベンゾフリル基、フリル基、ピリジン基、クマリニル基は炭素数1〜5のアシル基で置換されてもよい)で表わされる3-置換クマリン化合物を含有してなる耐熱性感光性重合体組成物。
IPC (7)：
G03F 7/038 504
, C08K 5/14
, C08K 5/15
, C08K 5/28
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/008
, H01L 21/027
G03F 7/038 504
, C08K 5/14
, C08K 5/15
, C08K 5/28
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/008
, H01L 21/30 502 R
