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J-GLOBAL ID：200903007970559736
形状測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
日比谷 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996242609
Publication number (International publication number)：1998062139
Application date： Aug. 26, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：
【要約】【目的】 自動的に微細な立体形状を高速かつ再現性良く測定する。【構成】 ハロゲンランプ17からの光はビームスプリッタ14で分割され、一方は第1の対物レンズ13を通って被測定物Kに照射され、他方は第2の対物レンズ15を通って参照ミラー16に照射され、それぞれで反射してきた光はビームスプリッタ14で再び重ね合わされて干渉像光が発生し、第1の対物レンズ13の焦点位置にあるCCDカメラ18の受光面に干渉像が結像する。制御用コンピュータ20は精密ステージ11を制御して被測定物Kの位置を変化させ、画像処理手段19はこのときの干渉画像を複数入力して解析し、被測定物Kの立体形状を算出する。
Claim (excerpt)：
白色光光源と、2光束干渉光学系と、干渉像を撮像する撮像手段と、前記2光束干渉光学系及び被測定物間距離を相対的に変化させる移動手段と、干渉縞を検出する画像信号処理手段と、該画像信号処理手段で得られた干渉縞によって前記被測定物の形状測定を行う手段とを備えたことを特徴とする形状測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/24 D
, G01B 11/00 G
