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J-GLOBAL ID：200903008031188926

PIG型イオン源

Inventor： 井上 憲一 ,  徳村 哲夫 ,  稲葉 高男 ,  三宅 善信
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所 ,  株式会社東京精密 ,  日本フィジテック機器株式会社
Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992240751
Publication number (International publication number)：1994089796
Application date： Sep. 09, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】比較的多くの多価イオンを取り出し得るコンパクトなPIG型イオン源。【構成】 このPIG型イオン源A ́は,原料ガスを導入するイオン生成室1と,イオン生成室1廻りに配設されてその中心軸に平行な磁場を発生する永久磁石2と,イオン生成室1の両端部に配設されて永久磁石2により発生する磁場に沿って電子を放出する磁極3,4と,磁極3,4の中間部に配設されて磁極3,4から放出される電子により原料ガスをその内部にてプラズマ化するアノード電極5と,プラズマ化された原料ガスのイオンを取り出す引き出し孔6とを備え,アノード電極をイオン生成室1の中心軸廻りに配設されヘリカルトロイダル型コイルとすると共に原料ガスがアノード電極を通るようなガス流通経路を形成するように構成されている。上記構成により比較的多くの多価イオンを取り出し得るコンパクトなPIG型イオン源を得ることができる。

Claim (excerpt)：

中性ガスを導入する真空容器と,上記真空容器廻りに配設されて該真空容器の中心軸に平行な磁場を発生する磁石と,上記真空容器の両端部に配設されて上記磁石により発生する磁場に沿って電子を放出するカソード対と,上記カソード対の中間部に配設されて該カソード対から放出される電子により上記真空容器に導入される中性ガスをその内部にてプラズマ化するアノードと,上記アノード内部にてプラズマ化された中性ガスのイオンを取り出すイオン取出し部とを備えたPIG型イオン源において,上記アノードを上記真空容器の中心軸廻りに配設されたヘリカルトロイダル型コイルとしてなることを特徴とするPIG型イオン源。