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J-GLOBAL ID：200903008054737749

石英ガラスの製造方法及びそれにより製造された 石英ガラス部材

Inventor： 神保 宏樹 ,  平岩 弘之
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993201343
Publication number (International publication number)：1995053225
Application date： Aug. 13, 1993
Publication date： Feb. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 均質性の向上した合成石英ガラスを低い歩留まりであることが可能な石英ガラスの製造方法を提供する。【構成】 HIP処理時の保持圧力と石英ガラスのΔnとの間の直線関係から所望のΔnを与える保持圧力を選択しHIP処理することにより、均質性を。Δn=1×10-6程度以下にすることが可能となる。

Claim (excerpt)：

均質性△n=1×10-6以上の石英ガラスを大気中または不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中または酸素雰囲気中、700°C以上1300°C以下、保持圧力を調整して1時間以上HIP処理し、降温する均質性△n=1×10-6程度以下の石英ガラスの製造方法において、HIP処理時の保持圧力と石英ガラスの均質性△nとの間の関係式を予め導き、該関係式より所望の均質性△nを与える圧力を求め、これによりHIP処理し、降温する事を特徴とする石英ガラスの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-149033
  
• 石英ガラスの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-279635   Applicant：株式会社ニコン