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J-GLOBAL ID：200903008057876073

光導波路の作製方法

Inventor： 服部 哲也 ,  広瀬 智財 ,  金森 弘雄
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994162491
Publication number (International publication number)：1996029634
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 偏光特性の小さい光導波路を作製する方法を提供する。【構成】 本発明は、(a)光導波部であるコア部(32)と、このコア部よりも低屈折率で、このコア部を被覆するクラッド層(25)とを有する導波層(40)を基板(10)上に形成する工程と、(b)基板の下面に、この基板と熱膨張係数の異なる材料からなる応力調整層(50)を形成する工程と、(c)応力調整層を加熱した後、これを冷却する工程とを備えている。応力調整層の熱処理により、応力調整層と基板の熱膨張係数の違いに起因して基板の内部応力と反対向きの内部応力が応力調整層に発生する。これにより、導波層の形成工程により湾曲した導波層の歪み量が減少し、コア部の内部応力が低減されるので、光弾性効果による屈折率の異方性が減少する結果、偏光特性の小さい光導波路が得られる。

Claim (excerpt)：

光導波部であるコア部と、このコア部よりも低屈折率で、このコア部を被覆するクラッド層とを有する導波層を基板上に形成する第1の工程と、前記基板の下面に、この基板と熱膨張係数の異なる材料からなる応力調整層を形成する第2の工程と、前記応力調整層を加熱した後、これを冷却する第3の工程と、を備える光導波路の作製方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭64-057207
  
• 特開平1-108506
  
• 特開昭64-057207
  
• 特開平1-108506