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J-GLOBAL ID：200903008065524933
移動精度測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995106665
Publication number (International publication number)：1996304020
Application date： Apr. 28, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：
【要約】【目的】 移動体の傾きを測定する装置によって移動量dを同時に測定し、かつ初期設定誤差の影響が少なくより正確に移動体の角度ずれを評価することができる移動精度測定装置を提供する。【構成】 移動体3上に固定された全反射鏡4に測定光1aを入射し、反射光4aの位置を全反射鏡4からの距離L1 で検出する位置検出素子5の出力と、移動体3を移動させる駆動部6からの設定移動量出力とを入力し、演算により移動体3の角度ずれを評価する処理部からなる移動精度測定装置において、反射光4aを分岐するハーフミラー2と反射光4arを反射する全反射鏡14と反射光14aを入力し、全反射鏡4からの距離L2 (≠L1 )で検出する位置検出素子15の出力を演算に加えて、移動量を算出し、移動体の角度ずれをより正確に評価する。
Claim (excerpt)：
光源と、移動体と、移動体上に固定され光源からの出射光が入射される第1の全反射鏡と、全反射鏡から所定距離離間して設置され第1の全反射鏡による反射光が入射されるとともにその入射位置を検出する位置検出素子と、移動体を移動させるとともに設定移動量を出力する駆動部と、駆動部から出力される設定移動量と位置検出素子で検出される入射位置とに基づいて移動時の移動体の傾き角を算出する処理部とからなる移動精度測定装置において、前記光源からの出射光を前記第1の全反射鏡へ零でない入射角で入射するとともに、前記位置検出素子を有し、該第1の全反射鏡による反射光を該第1の全反射鏡からの光学的距離がそれぞれ異なる2点において該位置検出素子へ入射する2点測定手段を備え、前記処理部は該位置検出素子で検出される2つの入射位置に基づいて移動量に対する移動体の傾き角を算出することを特徴とする移動精度測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/00 F
, G01B 11/26 Z
