Pat

J-GLOBAL ID：200903008069735670

エミッション顕微鏡およびその分析方法

Inventor： 饗場 利明
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000268724
Publication number (International publication number)：2002075261
Application date： Sep. 05, 2000
Publication date： Mar. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】 良好な状態で試料の観察を行なうことができるエミッション顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料10の温度を検出する試料温度検出装置24と、試料10を冷却する試料冷却装置22と、試料温度検出装置24によって検出された試料10の温度に基づいて試料冷却装置22を動作させて試料10に冷却作用を及ぼすことにより試料10の温度を制御する制御装置25とから構成される試料温度制御手段によって観察中の試料10の温度が適正な温度に保たれる。また、試料室7内にコールドトラップ26を備えることによって、試料室7内の真空度を向上させることができるため、観察中の試料10の放電の発生が抑制される。

Claim (excerpt)：

紫外線を試料室に設置された試料に照射する紫外線照射手段と、前記紫外線により前記試料から放出された光電子を結像し、結像された光電子像を拡大する光電子像結像手段と、前記光電子像を撮像する撮像手段とを有するエミッション顕微鏡において、前記試料の温度が所定の設定値に保たれるように前記試料の温度を制御する試料温度制御手段をさらに有することを特徴とするエミッション顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/20 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/285 ,  G21K 1/00

FI (4)：

H01J 37/20 E ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/285 ,  G21K 1/00 E

F-Term (17)：

2G001AA07 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001DA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001JA14 ,  2G001PA07 ,  2G001RA03 ,  2G001RA20 ,  5C001BB01 ,  5C001BB02 ,  5C001CC08