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J-GLOBAL ID：200903008071335492

光重合性組成物

Inventor： 野口 弘道 ,  成田 吉平 ,  上原 真一 ,  萩尾 滋
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社 ,  サンノプコ株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991082914
Publication number (International publication number)：1994161109
Application date： Mar. 25, 1991
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 従来の光重合性組成物では達成することができなかった、可視光に高感度を示し、支持体に対する密着性に優れ、かつ精密で高解像度のパターンを形成し得る光重合性組成物を提供すること。【構成】 下記組成分(1)〜(4)を含有する光重合性組成物。(1)アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルおよびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、親水性モノマーから得られる構造単位を主体とする枝鎖を付加したグラフト共重合高分子、(2)線状高分子、(3)エチレン性不飽和結合を有するモノマー及び(4)有機過酸化物、s-トリアジン誘導体、ベンゾフェノン及びその誘導体、キノン類、N-フェニルグリシン及びアルキルアリールケトンからなる群から選ばれた化合物の少なくとも1種からなるラジカル発生剤と、クマリン系色素、ケトクマリン系色素、シアニン系色素、メロシアニン系色素及びキサンテン系色素からなる群から選ばれた化合物の少なくとも1種からなる増感剤。

Claim (excerpt)：

(1)アルキルメタクリレート、アクリロニトリルおよびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、(A)水酸基含有アクリルモノマー、(B)アミノもしくはアルキルアミノ基含有アクリルモノマー、(C)カルボキシル基含有アクリルもしくはビニルモノマー、(D)N-ビニルピロリドン、(E)ビニルピリジンもしくはその誘導体および(F)下記一般式(I)で表わされるアクリルアミド誘導体からなる群より選ばれた1種以上のモノマーに由来する構造単位を主体とする枝鎖が付加されてなるグラフト共重合高分子と、【化1】[ただし、R1 は水素または炭素原子数が1〜3のアルキルもしくはヒドロキシアルキル基、R2 は水素または炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を有していてもよいアルキルもしくはアシル基を表わす](2)メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、t-ブチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、アクリロニトリル、イソボルニルメタクリレート、イソボルニルアクリレート、トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタクリレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレートからなる群より選ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を有し、かつ前記(A)〜(F)のモノマーのうちの少なくとも一種のモノマーに由来する構造単位を有する線状高分子と、(3)エチレン性不飽和結合を有するモノマーと、(4)有機過酸化物、s-トリアジン誘導体、ベンゾフェノン及びその誘導体、キノン類、N-フェニルグリシン及びアルキルアリールケトンからなる群から選ばれた化合物の少なくとも1種からなるラジカル発生剤と、クマリン系色素、ケトクマリン系色素、シアニン系色素、メロシアニン系色素及びキサンテン系色素からなる群から選ばれた化合物の少なくとも1種からなる増感剤とを含む光重合開始剤とを含むことを特徴とする光重合性組成物。

IPC (11)：

G03F 7/038 501 ,  C08F 2/44 MCS ,  C08F 2/50 MDN ,  C08F291/00 MRB ,  C09D 4/00 PDQ ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  C09D 5/00 PNW

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-103215
  
• 特開平2-097516
  
• 特開昭54-151024
  
• 特開平2-151606