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J-GLOBAL ID：200903008101402084

静電チヤツク

Inventor： 松永 大輔
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991291073
Publication number (International publication number)：1993129421
Application date： Nov. 07, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ウエハを支持する静電チャックに関し,静電チャックの固定電荷除去に要する時間のマージンを低減して, 装置の稼働率および処理のスループットを向上させることを目的とする。【構成】 1)ウエハを支持するウエハ支持台1と, 該ウエハ支持台上で該ウエハを上下動させるリフトピン3と,該上下動の際に該リフトピンにかかるストレスを検知するストレスセンサ4とを有するように構成する。2)前記ストレスセンサがスプリングを用いた接点式センサ, またはピエゾ素子, または圧力計であるように構成する。3)前記ストレスセンサが出力する信号を,ウエハ搬送系を司るCPU に帰還し,ウエハ搬送の可, 不可を判断する機能を有するように構成する。

Claim (excerpt)：

ウエハを支持するウエハ支持台と, 該ウエハ支持台上で該ウエハを上下動させるリフトピンと,該上下動の際に該リフトピンにかかるストレスを検知するストレスセンサとを有することを特徴とする静電チャック。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/66