プラズマを利用した基材の表面処理方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996017549
Publication number (International publication number)：1997208726
Application date： Feb. 02, 1996
Publication date： Aug. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】大気圧条件下で、基材に耐久性に優れた疎水性能を与える表面処理方法を提供する。【解決手段】一対の電極の少なくとも一方に固体誘電体を設置し、他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志が対向して設けられ、当該他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志の間に基材を配置し、処理用ガスと不活性ガスの混合気体の大気圧近傍の圧力下で、該電極間に直流が重畳された交流電界を印加することによって放電プラズマを発生させる。一対の電極の一方に、処理用ガスと不活性ガスの混合気体の導入口および吹き出し口を備えた固体誘電体容器を配設し、他方の電極と当該ガス吹き出し口を対向して設けた装置の、当該他方の電極と当該ガス吹き出し口の間に基材を配置して処理を行ってもよい。

Claim (excerpt)：

一対の電極の少なくとも一方に固体誘電体を設置し、他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志が対向して設けられ、当該他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志の間に基材を配置し、処理用ガスと不活性ガスの混合気体の大気圧近傍の圧力下で、該一対の電極間に直流が重畳された交流電界を印加することによって放電プラズマを発生させることを特徴とする基材の表面処理方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

積層体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-005715 Applicant：積水化学工業株式会社
特開昭53-068171
プラズマ表面処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-220795 Applicant：新日本製鐵株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘

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