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J-GLOBAL ID：200903008149024650

走査型近接場光顕微鏡を用いた試料測定方法

Inventor： 守田 和広
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995341301
Publication number (International publication number)：1997178762
Application date： Dec. 27, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】試料の表面凹凸情報と共に試料表面近傍から離間するに従って変化するエバネッセント場の所望の強度分布状態を短時間且つ簡単に測定することが可能な走査型近接場光顕微鏡を用いた試料測定方法を提供する。【解決手段】探針16cの先端と試料2の表面とを相対的に接離させている間、探針によって散乱したエバネッセント場を構成する複数の強度分布層D1,D2,D3,D4,D5から発生する伝搬光を光学的に順次検出することによって、試料の内部構造に対応した光学情報を取り込む。更に、探針の先端が試料の表面に接触した際に、圧電体スキャナへの印加電圧値に基づいて検出した試料の表面凹凸情報を取り込む。そして、取り込まれた光学情報及び表面凹凸情報に所定の演算処理を施すことによって、試料の表面凹凸情報と同時に所望の強度分布状態に対応したエバネッセント場の光学情報を選択的に抽出して表示する。

Claim (excerpt)：

先端に探針を有するカンチレバーと、所定の試料をセット可能であって且つ前記試料の表面近傍にエバネッセント場を局在させる光学系と、所定の印加電圧に基づいて、前記カンチレバーと前記試料との間の相対距離を変化させることによって、前記探針の先端と前記試料の表面とを相対的に接離させる接離手段とを備えた走査型近接場光顕微鏡を用いた試料測定方法であって、前記接離手段によって前記探針の先端と前記試料の表面とを相対的に接離させている間に、前記探針によって散乱した前記エバネッセント場から発生する伝搬光に基づいて、前記エバネッセント場を構成する全ての強度分布状態を光学的に検出することによって、前記試料の内部構造に対応した光学情報を取り込む光学情報取込工程と、前記探針の先端が前記試料の表面に接触した際に前記接離手段に印加された電圧値に基づいて、前記試料の表面情報を取り込む表面情報取込工程と、前記光学情報取込工程及び前記表面情報取込工程によって取り込まれた前記光学情報及び前記表面情報に所定の演算処理を施すことによって、前記試料の表面情報と同時に所望の強度分布状態に対応した前記エバネッセント場の光学情報を選択的に抽出して表示する表示工程とを有することを特徴とする走査型近接場光顕微鏡を用いた試料測定方法。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 102

FI (2)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 102 Z