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J-GLOBAL ID：200903008155589139

光学装置の製造法

Inventor： 鯉渕 滋 ,  木村 忠広
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998142839
Publication number (International publication number)：1999337753
Application date： May. 25, 1998
Publication date： Dec. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】 接着性に優れ、長時間使用しても安定な光学装置の製造法を提供する。【解決手段】 基板表面上にジルコニウムアルコキシド化合物の被膜を形成した上に、フッ素を含むポリイミド系樹脂被膜を形成することを特徴とする光学装置の製造法。

Claim (excerpt)：

基板表面上にジルコニウムアルコキシド化合物の被膜を形成した上に、フッ素を含むポリイミド系樹脂被膜を形成することを特徴とする光学装置の製造法。