Pat
J-GLOBAL ID：200903008183057045
ダイヤモンドの合成法
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
上代 哲司 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994065868
Publication number (International publication number)：1995277890
Application date： Apr. 04, 1994
Publication date： Oct. 24, 1995
Summary：
【要約】高品質で、合成速度の早いダイヤモンドの気相合成法を提供することにある。【構成】 原料ガスとして炭素、窒素、水素、またはこれらに酸素または硼素含有ガスを用い、窒素と水素の原子数の比率が3ppm以上、1000ppm以下または酸素と炭素の原子数の比率が3%以上100%以下であることを特徴とするダイヤモンドの気相合成法。【効果】 原料ガスとして、窒素を微量添加することによってダイヤモンドの品質が高く、かつダイヤモンドの合成速度を高めるダイヤモンドの気相合成が可能である。
Claim (excerpt)：
少なくとも炭素(C)、水素(H)、窒素(N)を含む導入ガスを用いて、ダイヤモンドの単結晶を気相からエピタキシャル成長させるダイヤモンドの合成法であって、ガス内の[N]/[H]が3ppm以上1000ppm以下であることを特徴とするダイヤモンドの合成法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
Show all
Return to Previous Page
