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J-GLOBAL ID：200903008215745160

圧電体素子及びこれを用いたアクチュエータ並びにインクジェット式記録ヘッド

Inventor： 島田 勝人
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997046444
Publication number (International publication number)：1998235864
Application date： Feb. 28, 1997
Publication date： Sep. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】 圧電体膜に格子欠陥が生じることを防止した信頼性の高い圧電体素子及びこれを用いたアクチュエータ並びにインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 シリコン基板11上に、下電極21、PZT膜22及び上電極23を、この順に備え、下電極21の少なくともPZT膜22に接触する部分を金層26(または銀層)から構成し、PZT膜22をチタン酸ジルコン酸鉛を主成分として構成した。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された下電極と、当該下電極上に形成された圧電体膜と、当該圧電体膜上に形成された上電極と、を備えてなる圧電体素子であって、前記下電極と前記圧電体膜が直接接触した構造を備え、当該下電極の少なくとも当該圧電体膜に接触する部分が金層または銀層から構成され、 前記圧電体膜がチタン酸ジルコン酸鉛を主成分として構成されている圧電体素子。

IPC (3)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09

FI (2)：

B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 C