エリプソパラメータ測定方法及びエリプソメータ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991263690
Publication number (International publication number)：1993113371
Application date： Oct. 11, 1991
Publication date： May. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】エリプソメータに含まれる可動光学部材を除去して、測定速度を上昇するとともに、エリプソパラメータの位相差Δがどの象限に所属するかも1回の測定で判定可能とする。【構成】光源部から測定対象に入射されて、この測定対象にて反射された楕円偏光を有する反射光を互いに異なる4つの偏光成分に分離して各偏光成分の光強度を検出し、検出された4つの光強度からエリプソパラメータψ,Δを算出している。また、波長板を用いて前記4つ異なる偏光成分を得ている。さらに、必要に応じて、4つの光強度を得る各偏光成分の偏光方向をそれぞれ基準方向に対して-45°,+45°,90°,0°に設定している。また、4つの偏光成分を取出すために複合ビームスプリッタを用いている。

Claim (excerpt)：

測定対象に対して偏光した光を所定角度で入射させ、この測定対象の反射光をそれぞれ互いに異なる4つの偏光成分に分離し、この分離された4つの偏光成分の光強度からエリプソパラメータを求めることを特徴とするエリプソパラメータ測定方法。

IPC (3)：

G01J 4/04 , G01B 11/06 , G01N 21/21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-160331
特開昭62-293104
特開昭62-251629

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