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J-GLOBAL ID：200903008225189478

TiO2を添加したTa2O5を含む誘電体材料及びそれを用いるコンデンサ

Inventor：
ロバート ジョセフ キャヴァ

About ロバート ジョセフ キャヴァ


Applicant, Patent owner：
エイ・ティ・アンド・ティ・アイピーエム・コーポレーション

About エイ・ティ・アンド・ティ・アイピーエム・コーポレーション


Agent (1)： 三俣 弘文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996153653
Publication number (International publication number)：1997002869
Application date： Jun. 14, 1996
Publication date： Jan. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】 TiO2を添加したTa2O5を含む誘電体材料及びそれを用いたデバイスを提供する。【解決手段】 発明者は、Ta2O5の誘電率が、少量のTiO2の添加により、著しく高められることが可能であることを発見した。とりわけ、Ta2O5に、約3モル%以上のTiO2が添加されると、この材料は、不純物の添加されていない材料より高い誘電率を有する。例えば、Ta2O5:TiO2が0.92:0.08という比では、誘電率は、3倍以上も高められる。Ta(タンタル)及びTi(チタン)の両方とも、現在のマイクロエレクトロニクスにおける処理と適合しているものであることから、従来からのプロセス(工程)に僅かな修正をもって、サイズを低下させたコンデンサーを作成するべく、当該新しい誘電体が利用されることが可能である。
Claim (excerpt)：
0.03≦x≦0.4であり、20°C、1MHzにおいて測定された誘電率が、不純物の添加されていないTa2O5の誘電率よりも大きい、ことを特徴とする、(Ta2O5)1-x(TiO2)xを含む誘電体材料。
IPC (3)：
C04B 35/46 ,  H01B 3/12 312 ,  H01G 4/12 397
FI (3)：
C04B 35/46 C ,  H01B 3/12 312 ,  H01G 4/12 397
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 特開昭61-019004
  • 温度補償誘電体磁器組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-353825   Applicant：住友金属鉱山株式会社

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