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J-GLOBAL ID:200903008254920874
ディスクのバリ除去方法及び装置、並びにディスク
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松隈 秀盛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997114687
Publication number (International publication number):1998154322
Application date: May. 02, 1997
Publication date: Jun. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】 ディスク20の端縁部に生じたバリを簡単に除去し、かつ除去したバリがディスク20に付着することがないようにする。【解決手段】 ディスク20を回転させるディスク回転手段3と、レーザー光を発射するレーザー光発生手段5,6とを備え、ディスク回転手段3によって回転されるディスク20の端縁部にレーザー光発生手段5,6から発射されたレーザー光L1 ,L2 を当てることにより、バリを高温で昇華させるようにする。さらにバリが昇華した後の浮遊粒塵を吸引手段11で吸引するようにする。
Claim (excerpt):
ディスクの端縁部に生じたバリを除去するための方法であって、上記ディスクの端縁部にレーザー光を当てることにより、上記バリを昇華させるようにしたことを特徴とするディスクのバリ除去方法。
IPC (2):
FI (2):
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