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J-GLOBAL ID:200903008273689911

精密研磨仕上用毛材及び精密研磨仕上用ブラシ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 蛯谷 厚志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999078833
Publication number (International publication number):2000271871
Application date: Mar. 24, 1999
Publication date: Oct. 03, 2000
Summary:
【要約】【課題】 アルミ又はガラスディスク、シリコンウエハ及び液晶ガラスなどからなる精密部品の表面、特に端面エッジを傷つけることなく、均一に研磨、洗浄することができる精密研磨仕上用毛材及び精密研磨仕上用ブラシを提供する。【解決手段】 本発明の精密研磨仕上用毛材は、熱可塑性樹脂に対し直径が0.5〜30μmの研磨剤粒子を溶融混練した組成物を溶融紡糸してなる糸径が0.1〜0.5mmのモノフィラメントからなり、このモノフィラメントの端部に先細テーパー部を形成したことを特徴とする。
Claim (excerpt):
熱可塑性樹脂に対し直径が0.5〜30μmの研磨剤粒子を溶融混練した組成物を溶融紡糸してなる糸径が0.1〜0.5mmのモノフィラメントからなり、このモノフィラメントの端部に先細テーパー部を形成したことを特徴とする精密研磨仕上用毛材。
IPC (3):
B24D 11/00 ,  B24D 3/28 ,  B24D 13/14
FI (3):
B24D 11/00 G ,  B24D 3/28 ,  B24D 13/14 A
F-Term (11):
3C063AA07 ,  3C063AB09 ,  3C063BB01 ,  3C063BB02 ,  3C063BB03 ,  3C063BB04 ,  3C063BB07 ,  3C063BB11 ,  3C063BC03 ,  3C063EE01 ,  3C063EE10

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