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J-GLOBAL ID：200903008275079916
吐出量及び液だれ量の監視方法及びその分注装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993174353
Publication number (International publication number)：1995027770
Application date： Jul. 14, 1993
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 正確に必要量の試料が吐出されたか否かを監視し、またノズルチップ移動時に発生した液だれ量を監視する吐出量及び液だれ量の監視方法及びその分注装置を提供する。【構成】 チップ36の光ビーム20の通過光を光検出器24で検出し、吸引後かつ吐出前のチップ36の通過光量と位置情報を第1のレベルメモリ80に記憶させ、吐出後のチップ36の通過光量と位置情報を第2のレベルメモリ82に記憶させる。そして両メモリ80、82より出力された光量を同位置で減算器86によって比較減算し、吐出量演算回路88において吐出前後の液柱の高さをそれぞれ求め、この液柱とチップ36の位置情報とから吐出前後の液量を求め、この吐出前後の液量差から吐出量を算出する。この算出された吐出量と予め入力した吐出必要量とを比較回路90において比較し、吐出状態を監視する。
Claim (excerpt)：
発光体から発生した近赤外光をビーム状として、この近赤外光に交差させながら試料を吸引又は吐出するノズルを移動させ、試料入りのノズルを通過した近赤外光の透過光量レベルとその位置を記憶し、また吐出後のノズルを通過した近赤外光の透過光量レベルとその位置を記憶して、 ノズルの同じ位置における吐出前の近赤外光の透過光量レベルと吐出後の近赤外光の透過光量レベルとを減算し、ノズル先端近傍の近赤外光の透過光量レベルの第1の差を第1の液面位置とし、ノズル先端より遠方の近赤外光の透過光量レベルの第2の差を第2の液面位置とし、第1の液面位置からノズル先端までの第1の液柱の高さ及び第2の液面位置からノズル先端までの第2の液柱の高さを求めて、予め記憶されているノズル内の液柱の高さとそのときの液量との関係の情報と第1の液柱の高さ及び第2の液柱の高さとから、吐出前の液量と吐出後の液量を求めてその差より吐出された液量を算出し、算出された吐出液量と予め記憶された吐出必要液量とを比較し、両者に液量差が生じた場合、吐出異常の判別信号を出力し、必要液量吐出されたか否かを監視することを特徴とする吐出量の監視方法。
Patent cited by the Patent：
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