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J-GLOBAL ID：200903008275642807
成膜装置用異常放電抑制装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
荒船 博司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995028299
Publication number (International publication number)：1996222398
Application date： Feb. 16, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 負荷の異常放電状態において、プラズマ自身の蓄積エネルギーと、直流電源から供給されるエネルギーをμs(マイクロ秒)のオーダーで放出させることにより異常放電を少数派アークの状態で抑制させると共に、正常モードでの運転状態においても逆極性電圧の繰り返しパルスを連続的に発生させて異常放電を予防することのできる異常放電抑制装置を提供することを目的とする。【構成】 リアクトル、コンデンサ、及びスイッチ素子からなる高周波共振回路を備えた構成とし、負荷における異常放電発生時に、該高周波共振回路が1周期のみの共振動作を行うことにより該負荷に逆極性電圧パルスを印加して、該異常放電を前記1周期程度の短時間で抑制するとともに、負荷の正常時においても該負荷に対し上記逆極性電圧パルスの印加を繰り返し行い、異常放電の発生を未然に防止するようにした。
Claim (excerpt)：
リアクトル、コンデンサ、及びスイッチ素子からなる高周波共振回路を備え、負荷における異常放電発生時に、該高周波共振回路が1周期のみの共振動作を行うことにより該負荷に逆極性電圧パルスを印加して、該異常放電を前記1周期程度の短時間で抑制することを特徴とする成膜装置用異常放電抑制装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H05H 1/46 A
, C23C 14/24 U
