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J-GLOBAL ID：200903008280512369

走査プローブ顕微鏡のマルチプローブヘッド

Inventor： 芝池 成人 ,  松本 聡
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992347984
Publication number (International publication number)：1994201369
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 試料各部の表面を多角的に観察できる走査フ ゚ローフ ゙顕微鏡のマルチフ ゚ローフ ゙ヘット ゙の提供。【構成】 マルチフ ゚ローフ ゙ヘット ゙10は、シリコン基板11上に円周上に配置されている6本のフ ゚ローフ ゙12〜17で構成され、駆動回路18〜23が設けられており、配線も含めて、シリコン基板11上に各フ ゚ローフ ゙12〜17とともに半導体プロセスを用いて作製した。アーム24〜29の先端には、各々探針30〜35が設けられている。各フ ゚ローフ ゙12〜17は点対称位置に設けられているが、各々少しだけ回転することができ、試料を走査するフ ゚ローフ ゙を取り替えて異なる方式で測定、同時にいろいろなホ ゚イントを測定等、多角的に試料を観察できる。各フ ゚ローフ ゙12〜17は、各々の周囲に設けた電極に電圧を印加して静電的に回転駆動される。また、各アーム24〜29は各々に形成したピエゾ素子により圧電駆動され、先端の各探針30〜35の精密な位置決めを行なう。

Claim (excerpt)：

先端に探針を形成し且つピエゾ素子を積層したアーム部と内側を基板上に支持されたリング部とからなり、このリング部の外周に配した複数の電極に順次静電気的に吸着されることで転動可能な複数のプローブを円周状に配置したマルチプローブヘッドであって、前記複数のプローブが各々前記転動動作によって回転移動し、試料上の複数の点において前記ピエゾ素子を駆動して前記探針が試料を走査することを特徴とする走査プローブ顕微鏡のマルチプローブヘッド。