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J-GLOBAL ID：200903008309390390

干渉測定システムにおける非線形性を量化するシステムおよび方法

Inventor：
ヒル、ヘンリー エイ.

About ヒル、ヘンリー エイ.


Applicant, Patent owner：
ザイゴ コーポレーション

About ザイゴ コーポレーション


Agent (1)： 恩田 博宣 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001538744
Publication number (International publication number)：2003527577
Application date： Nov. 17, 2000
Publication date： Sep. 16, 2003
Summary：
【要約】本発明は、干渉測定システムにより生成された干渉信号におけるたとえば循環誤差などの非線形性を量化する干渉測定システムおよび方法を特徴とする。上記システムおよび方法は複数のドップラー偏移の各々に対する干渉信号を分析することで、その他の場合には主干渉信号とスペクトル的に重畳し得る非線形性を区別し、かつ、種々のドップラー偏移における測定値に対する非線形性の寄与を補間する。時変干渉信号、または、時変干渉信号から抽出された位相は、フーリエ変換されると共に、少なくとも幾つかの非線形性はフーリエ変換された信号の2乗絶対値(すなわちパワースペクトル)におけるピークと関連付けられる。斯かるピークの各々の周波数におけるフーリエ変換の振幅および位相は、関連する非線形性を量化すべく使用される。量化された非線形性は、システムにより光路長測定値を補正すべく使用される。量化されたひとつ以上の非線形性の大きさの変化もまた、干渉測定システムの構成要素の劣化を識別すべく使用され得る。
Claim (excerpt)：
動作の間に、光路長差を画成する別体の経路に沿って2つのビームを導向してから各ビームを結合し、重畳する1対の出射ビームを生成する干渉計と、 上記重畳する1対の出射ビームの間の光干渉に応答しかつ上記光路長差を表す干渉信号s(t)を生成する検出器であって、上記信号s(t)は、上記2つのビームの間に存在し得る周波数分割ωと上記光路長差の変化の速度により定められるドップラー偏移・ψとの合計に等しい周波数を有する主項を含み、当該干渉測定システムの特性により上記信号s(t)は上記周波数分割ωとドップラー偏移・ψとの合計に等しくない周波数を各々が有する付加項を更に含む、検出器と、 上記検出器に連結された解析器であって、動作の間に、i)ドップラー偏移の値により主項および少なくとも1個の付加項がスペクトル的に分離されるというs(t)の値に基づき少なくとも1個の付加項を量化し、かつ、ii)量化された少なくとも1個の付加項を用いて、ドップラー偏移の値により主項および少なくとも1個の付加項がスペクトル的に重畳しないというs(t)の別の値に対応する光路長差の変化を評価する解析器と、を備えた干渉測定システム。
IPC (6)：
G01B 9/02 ,  G01J 9/02 ,  G01J 9/04 ,  G01N 21/45 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (6)：
G01B 9/02 ,  G01J 9/02 ,  G01J 9/04 ,  G01N 21/45 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 B
F-Term (29)：
2F064AA01 ,  2F064BB01 ,  2F064CC10 ,  2F064EE01 ,  2F064GG22 ,  2F064JJ15 ,  2G059AA02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB01 ,  2G059EE05 ,  2G059EE09 ,  2G059EE11 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ07 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 血液の速度を測定する装置及び方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-294957   Applicant：カール・ツアイス・スティフツング
  • 干渉計測装置
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平7-519189   Applicant：スパータインク.

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