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J-GLOBAL ID：200903008353830224

水を主体とした洗浄方法及びその装置

Inventor： 内波 敏郎 ,  西川 忠男
Applicant, Patent owner： 株式会社ウチナミ
Agent (1)： 井沢 洵
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991352526
Publication number (International publication number)：1993161880
Application date： Dec. 13, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：

【要約】[目的] フロン、有機溶剤などを用いた洗浄方法の代わりに、水を使用して、無公害かつ前記方法と同等の洗浄効果が得られるようにする。[構成] 被洗浄物を搬送し、空中に於て、水を主体とする洗浄液の噴射により、被洗浄物に付着している汚れを水流によって直接洗浄する工程と、水槽内に被洗浄物を浸漬し、液中に於て、無数の気泡による曝気処理を行ないかつ水を主体とする洗浄液の噴射により、被洗浄物に付着しているよごれを高速気泡の水撃並びに気泡破裂エネルギによって間接洗浄する工程とからなる洗浄方法。前記洗浄方法の実施に直接使用する洗浄装置であって、一定の経路に沿って被洗浄物を露出状態で搬送するワーク移動手段であるコンベア2、前記被洗浄物を直接洗浄するための、噴射ノズル20、30を備えた空中洗浄手段と、前記被洗浄物を水槽16、17内で間接洗浄するための気泡発生管22、23、27、28及び噴射ノズル24、24 ́を備えた液中洗浄手段とを具備した洗浄装置。

Claim (excerpt)：

被洗浄物を一定の経路に沿って移動させ、該経路にある被洗浄物に対して、空中に於て、水を主体とする洗浄液を噴射し、被洗浄物に付着している汚れを噴射水流により直接的に洗い落す工程と、前記経路にある水槽内の水を主体とする洗浄液に被洗浄物を浸漬し、液中に於て、被洗浄物に対して無数の気泡による曝気処理を行ないかつ水を主体とする洗浄液を噴射することにより、気泡を高速乱流化し、被洗浄物に付着している汚れを高速気泡の水撃並びに気泡破裂エネルギにより間接的に洗い落す工程とからなる水洗浄を行なうことを特徴とする水を主体とした洗浄方法。

IPC (5)：

B08B 3/02 ,  B08B 7/00 ,  C23G 3/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-062492
  
• 特開平3-109981
  
• 特開平3-221177