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J-GLOBAL ID：200903008368298693
粒子または欠陥の大きさ情報の測定方法および装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡部 正夫 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992071593
Publication number (International publication number)：1993273110
Application date： Mar. 27, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】粒子の大きさがレ-ザビ-ムの波長の十分の一程度の大きさのものでも該粒子の大きさ情報を正確に求めることができる方法および装置を提供する。【構成】レ-ザビ-ムを被測定物に照射し、被測定物の粒子による散乱光を撮像素子を用いて受光し、イメ-ジプロセッサ-による画像デ-タを基に散乱光の積分強度を求め、この積分強度をから粒子の大きさ情報を求める。
Claim (excerpt)：
レ-ザビ-ムを被検物体に照射する工程と、該被検物体の粒子または欠陥からの散乱光を受光して画像処理する工程からなる粒子または欠陥の大きさを測定する方法であって、得た画像情報を基に粒子または欠陥からの散乱強度を積算する工程を含むことを特徴とする粒子または欠陥の大きさを測定する方法。
IPC (4)：
G01N 15/02
, G01N 15/14
, H01L 21/66
, G01N 21/47
