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J-GLOBAL ID：200903008374370720

表面形状の光学的測定装置

Inventor： 樋口 朗
Applicant, Patent owner： 株式会社小坂研究所
Agent (1)： 小山 欽造 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993182256
Publication number (International publication number)：1995019842
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】簡易な構成で測定の精度向上を図る。【構成】表面形状の光学的測定装置を、光源8と干渉計と検出器20とコンピュータ23とにより構成する。干渉計は、位相変調手段10と、ビームエキスパンダ11と、偏光ビームスプリッタ13と参照平面2とから成る。位相変調手段10は、光軸と平行な軸に対して回転自在な1/2波長板14と、固定の1/4波長板15と、上記1/2波長板14の回転を制御する制御器16とから成る。光源8から出射した光束が、この1/2波長板14と1/4波長板15とを通過する事により、上記光束の互いに直交する偏光成分の間に位相差が生じる。

Claim (excerpt)：

光源手段と、この光源手段から出射した光束を、互いに直交する偏光成分の間で位相差を生じさせる位相変調手段と、この光束を、測定光と参照光との2光束に分割する偏光ビームスプリッタと、被測定物で反射した測定光と参照面で反射した参照光とによって形成される干渉縞の強度分布を検出する検出器と、この検出器によって検出された干渉縞の強度分布により、被測定物の表面形状を算出する演算装置とを備え、上記位相変調手段を、光軸と平行な軸を中心として回転自在な1/2波長板と、この1/2波長板の後方に固定の1/4波長板と、上記1/2波長板の回転を制御する制御器とから構成して成る、表面形状の光学的測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/30 102 ,  G01B 11/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 干渉計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-314662   Applicant：松下電工株式会社