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J-GLOBAL ID：200903008375868713
パルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法およびその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998019922
Publication number (International publication number)：1999211898
Application date： Jan. 30, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：
【要約】【課題】 表面科学を対象とする計測や材料の創製等の分野において有用な発明であって、例えば、物質表面や表面内部数層の電子状態を調べるためのプローブとして、または、表面化学反応により、物質表面の汚染物質の除去や表面への積層化合物の創製において好適に使用できるパルス化された励起原子線と紫外光とを高強度で得ることができる方法および装置を提供する。【解決手段】 先端にガス噴出孔(2a)が穿設されるとともに内部に針状電極(5)が配設された絶縁性ノズル(2)と、絶縁性ノズルのガス噴出孔から所定距離離れた位置に漏斗状で先端に開口部(8a)を備えたスキマー(8)とを具備してなり、真空中でガスを噴出する絶縁性ノズル中の電極とスキマー間でパルス放電を生起させ、パルス励起原子線とパルス紫外孔を同時に生成させる。
Claim (excerpt)：
真空中でガスを噴出する絶縁性ノズル中の電極とスキマー間でパルス放電を生起させ、パルス励起原子線とパルス紫外光を同時に生成させることを特徴とするパルス励起原子線とパルス紫外光の生成方法。
Patent cited by the Patent：
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