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J-GLOBAL ID：200903008385570712
静電容量式センサの故障診断装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992025482
Publication number (International publication number)：1993223844
Application date： Feb. 12, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】 故障診断機能を備えた高信頼性の静電容量式センサを提供すること。【構成】 ビ-ム60で支持され重錘の機能を持った可動電極61と、固定電極62、63からなる静電容量式のセンサ部6において、昇圧回路5から駆動回路3、4を介して、検出時に印加されている電圧よりも高い電圧を供給し、これにより可動電極61と固定電極62、63間に静電気力を発生させ、検出すべき加速度などによる変位と同じ変位を可動電極61に生じさせて故障診断を行うようにしたもの。【効果】 静電容量式センサの故障診断が確実にえられ、常に高い信頼性の保持が可能になる。
Claim (excerpt)：
検出対象となる物理量に応じて変位する可動電極を備え、この可動電極の変位を、この可動電極に対向して配置された固定電極との間での静電容量の変化として検出する静電容量式センサにおいて、上記検出対象となる物理量の測定可能範囲の少なくとも最小限の変位を上記可動電極に発生させる静電気力発生手段を設け、この静電気力発生手段による上記可動電極の変位に伴う静電容量の変化により故障診断を行なうように構成したことを特徴とする静電容量式センサの故障診断装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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