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J-GLOBAL ID:200903008392355037
近接場光プローブ
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴木 誠 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001077619
Publication number (International publication number):2002279671
Application date: Mar. 19, 2001
Publication date: Sep. 27, 2002
Summary:
【要約】【課題】 近接場光プローブにおいて、突起部の周囲で散乱する反射光の影響を排除し、読み出し信号の信頼性を向上させ得るようにする。【解決手段】 近接場光プローブ1は、透光性基板2上に高屈折率材料で形成される突起レイヤー4と一体に円錐台形状の突起部5を設け、この側面を金属コーティング層3で被覆して設け、突起部5の周辺の透光性基板2と金属コーティング3の間に光吸収膜8を設けている。前記光吸収膜8としては、例えばフォトレジスト等を用い、突起部5の周辺に照射された光を光吸収膜8によって吸収することにより、レンズ15を通って検知される光の強度に信頼性を持たせることができる。
Claim (excerpt):
高屈折率材料で形成され、先端に開口を有する突起部と、透光性基板によって構成される近接場光プローブにおいて、前記突起部の周辺に光吸収膜を形成したことを特徴とする近接場光プローブ。
IPC (4):
G11B 7/12
, G01N 13/14
, G11B 11/105 551
, G11B 11/105 566
FI (4):
G11B 7/12
, G01N 13/14 B
, G11B 11/105 551 L
, G11B 11/105 566 C
F-Term (10):
5D075CD03
, 5D075CD08
, 5D119AA11
, 5D119AA20
, 5D119AA22
, 5D119AA43
, 5D119DA01
, 5D119DA05
, 5D119FA19
, 5D119JB03
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