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J-GLOBAL ID：200903008420816436

コロイダルシリカ含有研磨液の調整方法

Inventor： 唐沢 祥夫 ,  阿部 忠
Applicant, Patent owner： 株式会社オーピーシー ,  住金石英株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995145267
Publication number (International publication number)：1996319111
Application date： May. 19, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：

【要約】【目的】 研磨キズの発生および研磨面精度の悪化を防止でき、かつ、研磨液と接触する器具へのコロイダルシリカの固着を減少することができるコロイダルシリカ含有研磨液の調整方法を提供することを目的とする。【構成】 コロイダルシリカ含有研磨液に、グリセリンを添加することを特徴とするコロイダルシリカ含有研磨液の調整方法。

Claim (excerpt)：

コロイダルシリカ含有研磨液に、グリセリンを添加することを特徴とするコロイダルシリカ含有研磨液の調整方法。

IPC (4)：

C01B 33/141 ,  B24B 37/00 ,  B24C 1/08 ,  H01L 21/304 321

FI (4)：

C01B 33/141 ,  B24B 37/00 H ,  B24C 1/08 ,  H01L 21/304 321 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

• 特開平2-133399
  
• 特開昭55-139479
  
• 特開昭62-208869
  
• 特開昭64-040267
  
• 特開平2-257627
  
• 特開昭49-077292
  
• 特開昭56-026971
  
• ダイヤモンド研磨液の製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-209853   Applicant：リファインテック株式会社