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J-GLOBAL ID：200903008461580986

反射鏡の保持方法、反射鏡及び露光装置

Inventor： 白石 雅之
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001125562
Publication number (International publication number)：2002318334
Application date： Apr. 24, 2001
Publication date： Oct. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 反射鏡の保持方法に改良を加え、パターン形成精度を向上できる露光装置等を提供する。【解決手段】 X線反射鏡1の周囲には、中空のリング状をした弾性体リング2が設けられている。弾性体リング2の中空部には、静止流体4が充填されている。静止流体4としては、例えば、水やアルコール等の液体、アルゴン、ヘリウム、窒素等の気体を用いることができる。弾性体リング2の外周部分の3点には、ステンレス、インバー等の部材からなる保持部材3が均等に設置されている。

Claim (excerpt)：

反射鏡を鏡筒内で保持する際に、前記反射鏡を流体の圧力を介して保持することを特徴とする反射鏡の保持方法。

IPC (6)：

G02B 7/00 ,  G02B 23/02 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 1/06 ,  H01L 21/027 ,  G02B 7/182

FI (8)：

G02B 7/00 F ,  G02B 7/00 Z ,  G02B 23/02 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 1/06 P ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 531 A ,  G02B 7/18 Z

F-Term (16)：

2H039AA01 ,  2H039AB22 ,  2H043AE17 ,  2H043AE23 ,  2H043CA08 ,  2H043CA10 ,  2H043CB01 ,  2H043CB03 ,  2H043CD00 ,  2H043CE00 ,  2H097BB03 ,  2H097CA15 ,  2H097GB02 ,  2H097LA10 ,  5F046CB02 ,  5F046GB01