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J-GLOBAL ID：200903008479859210

圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法

Inventor： 習田 浩一 ,  阿部 洋 ,  渡部 洋平
Applicant, Patent owner： 株式会社トーキン
Agent (1)： 後藤 洋介 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994327264
Publication number (International publication number)：1996184442
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 切断時にも帯状電極と切断面との平行度や寸法に誤差を生じることのない圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法を提供すること。【構成】 圧電セラミックス角柱1の側面に、圧電セラミックス角柱1の長さ方向と平行な複数個の駆動・検出・アース用の帯状電極が施された圧電振動ジャイロ用振動子において、圧電セラミックス角柱1の側面を凹凸形状に形成し、帯状電極11,12,13,14,15,16が凹凸形状の凹部4に沿って位置させられている。

Claim (excerpt)：

角柱状圧電セラミックスの側面に、該圧電セラミックス角柱の長さ方向と平行な複数個の駆動・検出・アース用の帯状電極が施された圧電振動ジャイロ用振動子において、該圧電セラミックス角柱の側面を凹凸形状に形成し、前記帯状電極が前記凹凸形状の凹部に沿って位置するようにしたことを特徴とする圧電振動ジャイロ用振動子。

IPC (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開平4-331312
  

Cited by examiner (1)

• 特開平4-331312