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J-GLOBAL ID：200903008484485603

気相成長用サセプタ

Inventor： 柏木 伸夫 ,  宮之前 芳洋
Applicant, Patent owner： 東芝機械株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992078619
Publication number (International publication number)：1993238882
Application date： Feb. 28, 1992
Publication date： Sep. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 スリップの発生をより確実に押え、気相成長プロセスの自由度を高める。【構成】 ザグリ1にリング状の突起部2を同心状に設け、この突起部2によりウェーハWを支持する。突起部2はウェーハWの表面がサセプタ10の表面にほぼ一致する高さに形成されている。ザグリ1の底面3は気相成長中においてもウェーハWの底面が接触しない深さに形成されている。これによりウェーハWはより少ない接触面積で安定的に支持され、スリップの発生がより確実に押えられる。

Claim (excerpt)：

気相成長用サセプタにおいて、サセプタの表面に設けられたウェーハ載置用のザグリと、同ザグリ内に同心状に設けられたリング状の突起部とを有し、前記突起部はこの上に載置されたウェーハ表面が前記サセプタの表面とほぼ一致する高さに形成され、前記ザグリの底面は前記突起部に載置されたウェーハの裏面が気相成長中においても接触しない深さに形成されていることを特徴とする気相成長用サセプタ。

IPC (2)：

C30B 25/12 ,  H01L 21/205