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J-GLOBAL ID：200903008494024671

表面形状測定装置

Inventor： 高橋 悟
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  アキタ電子株式会社
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991344525
Publication number (International publication number)：1995103729
Application date： Dec. 26, 1991
Publication date： Apr. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 表面形状を高速かつ高精度で測定するシステム。【構成】 コリメートレンズ3を通ったレーザビーム7を、X方向走査用回転鏡6,リレーレンズ10,11,Y方向走査用回転鏡9,主レンズ15と順次進行させて、ターゲット16の表面に垂直に投下する。前記X方向走査用回転鏡およびY方向走査用回転鏡によって投下光17をXY方向に走査する。ターゲットでの反射光20を主レンズで集光し、投下光の光路を逆に戻らせて前記ピンホール付ミラーに到達させる。戻り光21は前記ピンホール付ミラーで反射し、四角錐ミラー22に進む。四角錐ミラーの各ミラーに対応して設けられたPSD23〜26のいずれかのPSDで確実に像検出を行う。光学的走査故に高速測定が可能となる。投・受光を主レンズで共用する故レンズのアライメントが不要となり、PSDの使用とも相俟って高精度測定が可能となる。

Claim (excerpt)：

レーザービームを光路の途中にそれぞれ設けたX方向走査用回転鏡およびY方向走査用回転鏡で二次元的に走査するとともに、主レンズでレーザビームを平行な投下光となしてターゲット表面に投下し、このターゲット表面での反射光を前記主レンズで集光させて前記投下光の光路に沿って逆に戻らせ、前記光路の途中に設けた反射鏡で光路を変えさせて多角錐状の反射鏡に導き、多角錐状の反射鏡によって分散された各戻り光を検出素子で検出するように構成してなることを特徴とする表面形状測定装置。