Pat
J-GLOBAL ID：200903008502772178
容積式真空ポンプ
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996162401
Publication number (International publication number)：1997324780
Application date： Jun. 03, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 2本ねじ形の容積式真空ポンプではあっても、単位排気量あたりの消費動力を小さくでき、かつ小型でメンテナンス性の良いドライ式真空ポンプを提供することを目的とする。【解決手段】 平行な2つの回転軸2a,2bに設けたねじロータ28a,28b,29a,29bが互いに噛み合いながら反対方向に回転することにより、ねじロータとポンプケーシング5,6間に閉じ込められた気体を移動して排気する容積式真空ポンプにおいて、各ねじロータを軸方向に少なくとも2つ設けてそれぞれポンプ部5A,6Aを構成し、これらのポンプ部5A,6Aの間に回転軸を回転するモータ部4Aを配置した。
Claim (excerpt)：
平行な2つの回転軸に設けたねじロータが互いに噛み合いながら反対方向に回転することにより、該ねじロータとポンプケーシング間に閉じ込められた気体を移動して排気する容積式真空ポンプにおいて、上記各ねじロータを軸方向に少なくとも2つ設けてそれぞれポンプ部を構成し、これらのポンプ部の間に上記回転軸を回転するモータ部を配置したことを特徴とする容積式真空ポンプ。
IPC (3)：
F04C 25/02
, F04C 23/00
, H02K 16/00
F04C 25/02 M
, F04C 23/00 E
, H02K 16/00
Cited by examiner (10)
Show all
Return to Previous Page
