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J-GLOBAL ID：200903008506295501

超薄膜積層体

Inventor： 瀬戸山 誠 ,  中山 明 ,  福井 治世 ,  吉岡 剛 ,  山縣 一夫 ,  小林 晄徳 ,  橋本 泰久
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 鎌田 文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993278411
Publication number (International publication number)：1995133111
Application date： Nov. 08, 1993
Publication date： May. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】 耐摩耗性および表面保護機能向上のため、切削工具、耐摩工具等の硬質基材表面、あるいは電気・電子部品、摺動、機械部品の表面に形成される超薄膜積層体を提供する。【構成】 周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素およびAl、Si、B、Cから選択される1種以上の元素と、B、C、N、Oから選択される1種以上の元素とによって構成される3種類以上の化合物を繰り返して積層する構造を有し、各層の層厚を0.5nm〜20nmとして、全体の膜厚が0.5μm〜10μmである超薄膜積層体1を、基材2の表面に被覆し、切削工具や耐摩工具の硬質被覆膜、あるいは電気・電子部品、摺動、機械部品の表面の耐摩耗膜や保護膜として用いる。

Claim (excerpt)：

周期律表IVa族、Va族、VIa族の金属元素の群およびAl、Si、B、Cから選択される1種以上の元素と、B、C、N、Oから選択される1種以上の元素とによって構成される3種類以上の化合物を繰り返して積層し、その積層する各層の厚みを0.5nm〜20nmとした超薄膜積層体。

IPC (6)：

C01G 1/00 ,  B23P 15/28 ,  C01B 21/06 ,  C01G 37/00 ,  C23C 28/00 ,  B23B 27/14