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J-GLOBAL ID：200903008518388440
X線露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991311836
Publication number (International publication number)：1993129188
Application date： Oct. 30, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：
【要約】【目的】 X線露光中のSR-X線のX線強度の変動を検出して、基板のX線露光量の変動を防ぐ。【構成】 SR-X線のシートビーム1の厚さ方向(y軸方向)に直列に配置された第一および第二のX線ディテクター8a,8bを、シリンドリカルミラー2と共に移動するセンサー保持部材7に保持させる。各X線ディテクター8a,8bはシートビーム1の上縁および下縁を含む所定領域のX線をそれぞれ検出して、制御回路9によってシートビーム1のy軸方向の変位を算出し、y駆動装置6によってシリンドリカルミラー2をy軸方向へ駆動することで、シートビーム1とシリンドリカルミラー2の相対的位置ずれを解消するとともに、演算器16によって各X線ディテクター8a,8bの出力の和からSR-X線のX線強度を算出し、X線強度の変動に応じて基板の露光時間を制御する。
Claim (excerpt)：
SR-X線を所望の方向に拡大するミラーを、該ミラーの反射面に対して垂直方向に移動させるミラー駆動手段と、前記SR-X線の前記垂直方向の変位を検出するために前記ミラーとともに移動する第1のX線ディテクター及び第2のX線ディテクターと、第1及び第2のX線ディテクターの出力によって前記ミラー駆動手段を制御する制御手段と、少くとも前記第1又は第2のX線ディテクターの出力によって前記SR-X線のX線強度を算出する演算器とからなるX線露光装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G21K 5/02
, H05H 13/04
