光プローブ素子、光プローブ素子を用いた記録再生装置、および光プローブ素子の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：原謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993121710
Publication number (International publication number)：1994331805
Application date： May. 24, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【構成】透光性材料からなるほぼ円錐形の突起と、突起の先端部分を除いて突起の円錐面に形成された反射膜2からなる光プローブ3が、透光性材料からなる平面基板1の片面に形成されている光プローブ素子20、この光プローブ素子20を用いた記録再生装置、およびこの光プローブ素子20の製造方法。【効果】半導体プロセス技術を利用して平面基板1上に光プローブ3を形成することが可能となる。これにより、規格のそろった光プローブ素子20およびこの光プローブ素子20を用いた記録再生装置を効率よく量産することが可能となる。

Claim (excerpt)：

透光性材料からなるほぼ円錐形の突起と、突起の先端部分を除いて突起の円錐面に形成された反射膜からなる光プローブが、透光性材料からなる平面基板の片面に形成されていることを特徴とする光プローブ素子。

IPC (3)：

G02B 5/00 , G11B 7/135 , G11B 7/22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭59-121310
ニアフイールド光学顕微鏡用光導入装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-262235 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
ニアフィールド顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-328856 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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