縞走査干渉測定方式による波面の位相つなぎ方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998337441
Publication number (International publication number)：2000161908
Application date： Nov. 27, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】複雑な連続位相データ領域の形状に影響されずに、連続的な位相分布が求められる位相つなぎ方法を得る。【解決手段】縞走査干渉測定により求めた位相データの位相つなぎ方法において、(a)画素データをスキャンして位相データ領域中の位相つなぎ未処理画素を処理開始画素とし、これを処理済みとみなし注目画素とするステップと、(b)注目画素に隣接する画素から未処理画素を処理対象画素とするステップと、(b1)(b)において処理対象画素とならなかった画素の位置情報を処理待ち画素リストに登録するステップと、(b2)(b)において未処理画素がなかった場合には画素リストを処理対象画素とするステップと、(c)(b)の処理対象画素に隣接する処理済み画素、(b)で検出された処理対象画素とのつなぎ処理を行うステップと、(d)(c)終了後に(b)で検出された処理対象画素を注目画素として(b)に戻るステップを行うことにより位相分布を求める。

Claim (excerpt)：

縞走査干渉測定方式により、物体光と参照光とを干渉させその干渉縞の強度をエリアセンサで読み取り、読み取った強度値を用いて各点での位相データを計算し、求めた位相データから連続的な位相分布を求める波面の位相つなぎ方法において、(a);画素データを順次スキャンして位相データ領域中の位相つなぎ未処理画素を検出し処理開始画素とし、該処理開始画素を処理済みとみなし注目画素とするステップと、(b);前記注目画素に隣接する画素から少なくとも1つの未処理画素を検出し処理対象画素とするステップと、(b1);前記ステップ(b)において処理対象画素とならなかった未処理画素の位置情報を処理待ち画素リストに登録するステップと、(b2);前記ステップ(b)において未処理画素がなかった場合には前記処理待ち画素リストに登録してある位置情報に対応した未処理画素を処理対象画素として順次選択するステップと、(c);前記ステップ(b)の処理対象画素に隣接する処理済み画素を検出し、該処理済み画素と前記ステップ(b)で検出された前記処理対象画素との位相つなぎ処理を行うステップと、(d);前記(c)ステップ終了後に前記ステップ(b)で検出された前記処理対象画素を注目画素としてステップ(b)に戻るステップと、を含み前記ステップ(b)において未処理画素がなくなるまで、前記(b)〜(d)のステップを順次行うことにより連続的な位相分布を求めることを特徴とする波面の位相つなぎ方法。

IPC (3)：

G01B 9/02 , G01B 11/24 , G01J 9/02

FI (3)：

G01B 9/02 , G01B 11/24 D , G01J 9/02

F-Term (16)：

2F064AA09 , 2F064CC10 , 2F064DD08 , 2F064GG61 , 2F064JJ01 , 2F064JJ06 , 2F065AA54 , 2F065DD04 , 2F065DD06 , 2F065DD07 , 2F065FF52 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2F065UU05

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