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J-GLOBAL ID：200903008592564420

顕微鏡

Inventor： 浮草 寛 ,  立川 茂
Applicant, Patent owner： 石川島播磨重工業株式会社 ,  石川島システムテクノロジー株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995344087
Publication number (International publication number)：1997184984
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 対象部のエッジ部分をより正確に検出するとともに、照明光の光路に光遮断手段を挿入することによって明視野と暗視野との切り換えを容易に行う。【解決手段】 光源から出射された照明光をガラス層上に対象部が形成された計測対象物の片面に照射し、該照明光が他面に透過して得られる検出光強度を対物レンズを介して光検出器によって検出することにより対象部の寸法を計測する顕微鏡において、光源と計測対象物との間に配置される対物レンズよりも開口数の大きな照明用対物レンズと、該照明用対物レンズと光源との間に配置され、照明用対物レンズの外周部近傍のみに照明光を入射させる光遮断手段とを具備する。

Claim (excerpt)：

光源から出射された照明光をガラス層上に対象部が形成された計測対象物の片面に照射し、該照明光が他面に透過して得られる検出光強度を対物レンズを介して光検出器によって検出することにより対象部の寸法を計測する顕微鏡において、前記光源と計測対象物との間に配置される前記対物レンズよりも開口数の大きな照明用対物レンズと、該照明用対物レンズと前記光源との間に配置され、照明用対物レンズの外周部近傍のみに照明光を入射させる光遮断手段と、を具備することを特徴とする顕微鏡。

IPC (4)：

G02B 21/06 ,  G01B 11/24 ,  G02B 7/00 ,  G02B 21/00

FI (4)：

G02B 21/06 ,  G01B 11/24 F ,  G02B 7/00 A ,  G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 顕微鏡の照明装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-083461   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 顕微鏡用ガラス層厚み補正器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-292205   Applicant：石川島播磨重工業株式会社
• 顕微鏡用ガラス層厚み補正器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-251907   Applicant：石川島播磨重工業株式会社