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J-GLOBAL ID：200903008593945398

高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

Inventor： 畠山 潤 ,  渡辺 淳 ,  原田 裕次
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 小島 隆司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001031743
Publication number (International publication number)：2001302735
Application date： Feb. 08, 2001
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【解決手段】 フッ素化された無水マレイン酸及び/又はマレイミドを繰り返し単位として含むことを特徴とする高分子化合物。【効果】 本発明のレジスト材料は、高エネルギー線に感応し、200nm以下、特には170nm以下の波長における感度、解像性、プラズマエッチング耐性に優れている。従って、本発明のレジスト材料は、これらの特性より、特にF2エキシマレーザーの露光波長での吸収が小さいレジスト材料となり得るもので、微細でしかも基板に対して垂直なパターンを容易に形成でき、このため超LSI製造用の微細パターン形成材料として好適である。

Claim (excerpt)：

フッ素化された無水マレイン酸及び/又はマレイミドを繰り返し単位として含むことを特徴とする高分子化合物。

IPC (6)：

C08F222/06 ,  C08F222/40 ,  C08K 5/00 ,  C08L 35/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (6)：

C08F222/06 ,  C08F222/40 ,  C08K 5/00 ,  C08L 35/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (101)：

2H025AA01 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  4J002BG031 ,  4J002BH021 ,  4J002BK001 ,  4J002DF008 ,  4J002EB017 ,  4J002EB066 ,  4J002EB076 ,  4J002EB116 ,  4J002EB117 ,  4J002EC036 ,  4J002ED026 ,  4J002ED076 ,  4J002EE016 ,  4J002EE036 ,  4J002EH036 ,  4J002EH039 ,  4J002EH126 ,  4J002EH129 ,  4J002EH139 ,  4J002EH156 ,  4J002EJ039 ,  4J002EJ049 ,  4J002EJ059 ,  4J002EJ069 ,  4J002EL066 ,  4J002EL106 ,  4J002EN026 ,  4J002EN028 ,  4J002EN038 ,  4J002EN048 ,  4J002EN058 ,  4J002EN068 ,  4J002EN078 ,  4J002EN108 ,  4J002EN118 ,  4J002EP016 ,  4J002EQ017 ,  4J002ES017 ,  4J002EU028 ,  4J002EU048 ,  4J002EU078 ,  4J002EU118 ,  4J002EU128 ,  4J002EU138 ,  4J002EU148 ,  4J002EU228 ,  4J002EU238 ,  4J002EV217 ,  4J002EV237 ,  4J002EV238 ,  4J002EV247 ,  4J002EV297 ,  4J002EV328 ,  4J002FD207 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J100AK33P ,  4J100AL08R ,  4J100AM42P ,  4J100AR03Q ,  4J100AR04Q ,  4J100AR05Q ,  4J100AR09Q ,  4J100AR11Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BA12Q ,  4J100BA16Q ,  4J100BA20P ,  4J100BA20Q ,  4J100BB07P ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BC03P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC03R ,  4J100BC53Q ,  4J100BC55Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38