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J-GLOBAL ID：200903008635210806
表面うねり検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992118544
Publication number (International publication number)：1993288533
Application date： Apr. 13, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】 任意の被検査試料表面の微小なうねりの欠陥の検出を実用レベルで可能とする表面うねり検査装置を得る。【構成】 パターンジェネレータの発生する表示パターンをパターン表示素子に表示してそれをパターン化光源として使用し、また偏差演算回路と標準データ発生回路、パターン幅一致判定回路と比較データ回路、あるいは座標変換回路と角度検出回路によってパターンジェネレータをフィードバック制御し、また表示パターン強度をアナログ的に規則正しく変化させて、撮像データとの差分をもとに異常検出を行う。
Claim (excerpt)：
被検査試料を間にして、一方にパターン化光源、他方に前記被検査試料を介して前記パターン化光源に焦点を合わせた、主光線のみを選択的に結像利用するカメラを配置した表面うねり検査装置において、前記パターン化光源として使用されるパターン表示素子と、前記パターン表示素子に表示する表示パターンを発生するパターンジェネレータと、前記パターンジェネレータが発生した表示パターンの前記パターン表示素子への表示を駆動するドライバと、前記ドライバと前記カメラの走査との同期をとるための同期信号発生回路とを備えたことを特徴とする表面うねり検査装置。
IPC (2)：
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