力検出装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柏木明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992259522
Publication number (International publication number)：1994109561
Application date： Sep. 29, 1992
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】探針と試料表面との間に原子間力以外の静電引力が働くことがなく測定精度の向上を図ることが可能な力検出装置を提供する。【構成】片持ち梁20の先端若しくは両持ち梁の中心にある探針21に加わる力により生じる曲がりを電気的検出手段22により検出することにより、探針21にある力を検出する力検出装置において、電気的検出手段22を片持ち梁20若しくは両持ち梁の梁の一部分Aに取付けた。

Claim (excerpt)：

片持ち梁の先端若しくは両持ち梁の中心にある探針に加わる力により生じる曲がりを電気的検出手段により検出することにより、前記探針に加わる力を検出する力検出装置において、前記電気的検出手段を前記片持ち梁若しくは前記両持ち梁の梁の一部分に取付けたことを特徴とする力検出装置。

IPC (3)：

G01L 1/16 , G01B 21/30 , G01L 1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

特開平4-001949
特開平4-072504
特開昭63-309802

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Cited by examiner (3)

特開平4-001949
特開平4-072504
特開昭63-309802

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