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J-GLOBAL ID：200903008652532337
球体表面検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡部 敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994145689
Publication number (International publication number)：1995333157
Application date： Jun. 03, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】 鋼球サイズに応じて光学系を変更することなく、被検査球体の表面性状を高精度に検査することができるようにした。【構成】 レーザダイオード1からのレーザー光束はビームスプリッタ4を透過し、集光レンズ3を経て鋼球2の中心に向かって絞り込まれ、レーザ光は鋼球2の表面に対して垂直に入射する。次いで、入射したレーザ光束は入射光路をそのまま逆進して反射光となり、集光レンズ3を透過してビームスプリッタ4で偏光される。ビームスプリッタ4で偏光された放射光束はフィルタ5によりレーザー光の波長近傍の波長を有する光を選択的を通過し、受光領域設定部7のスリットを通過した反射光束のみがフォトダイオード6に受光される。
Claim (excerpt)：
被検査球体の表面を照射する光源と、前記被検査球体の表面から反射した反射光を集光する集光手段と、該集光手段の光量を検出する光量検出手段と、該光量検出手段により検出された検出値に基づいて前記被検査球体の表面性状を判定する表面性状判定手段とを備えた球体表面検査装置において、前記光源からの射出光が透過すると共に前記集光手段により集光された反射光を前記光量変換手段に入射させる光路分別手段と、前記光量検出手段の受光領域を所定領域内に設定する受光領域設定手段とを備え、前記被検査球体が、前記集光手段の像空間領域における光軸上の所定位置に配設されていることを特徴とする球体表面検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/84
, G01B 11/30
, G01N 21/88
