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J-GLOBAL ID：200903008666360288

プラズマエツチング用電極板

Inventor： 菊地 誠
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991271611
Publication number (International publication number)：1993129241
Application date： Oct. 21, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 化学的安定性、純度、耐消耗性、非発塵性、形状安定性、発生プラズマの均質性に優れたプラズマエッチング用電極板を提供する。【構成】 ガラス状炭素の表面にダイヤモンドを被覆してなるプラズマエッチング用電極板。

Claim (excerpt)：

ガラス状炭素の表面にダイヤモンドを被覆してなるプラズマエッチング用電極板

IPC (2)：

H01L 21/302 ,  C23F 4/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-281426
  
• 特開昭61-006198